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日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET4000系列
点击次数:1214 发布时间:2021-01-29

日本小坂KOSAKA  | 微细形状测定机ET4000系列概述

台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax…),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面

日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET4000系列特点

★ 高精度.安定性.机能性卓yue适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
★ 是多机能的全自动微细形状测定机,针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
★ ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
★ ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
★ ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。
★ ET4300一适合12″样品测量。

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