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HORIBA一键式全自动快速椭偏仪Auto SE
点击次数:175 发布时间:2020-02-17

HORIBA一键式全自动快速椭偏仪Auto SE概述

一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

技术参数:

1. 光谱范围:450-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. 专立光斑可视技术,可观测任何样品表面

4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测器

HORIBA一键式全自动快速椭偏仪Auto SE特点

★ 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高

★ 专立技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

★ 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试

★ 全自动集成度高,安装维护简便

★ 一键式操作软件,快速简单

★ 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性

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