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日本小坂KOSAKA微细形状测定机ET200A
点击次数:247 发布时间:2019-11-11

日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET200A产品详细信息

日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET200A概述

ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD 原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET200A特点

★ ET200A台阶仪适用于二次元表面纳米等级段差台阶测定、粗糙度测定。
★ ET200A台阶仪拥有高精度.高分解能,搭配一体花岗岩结构,安定的测量过程及微小的测定力可对应软质样品表面。
★ 该型号台阶仪采用直动式检出器,重现性高。

日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET200A产品参数

大试片尺寸Φ200mm×高度50mm
重现性1σ ≤ 1nm
测定范围Z:600um X:100mm
分解能Z:0.1nm X:0.1um
测定力10UN~500UN (1mg-50mg)
载物台Φ160mm, 手动360度旋转
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